电子与半导体

半导体制造空气过滤

适用于半导体设施、洁净室空气系统及兼容局部设备的颗粒物过滤配置。请从项目规格及各过滤位置的安装接口入手。

半导体制造通风应用场景
空间与设备

逐一核对过滤位置。

补充新风与循环风

将初效及中效过滤器与规定空气处理级次、风量及安装空间匹配。

洁净室顶棚过滤器

选择设施设计要求的 HEPA 或 ULPA 等级、框架、尺寸及密封方式。

FFU 过滤器元件

按现有风机过滤单元接口核对无隔板或液槽密封元件。本页提供替换或配套过滤器元件。

局部设备与精密电子

请提供局部围护设备、精密电子及光学装配区的设备规格。材料要求应与颗粒物过滤等级分别说明。

选型考虑因素

从设备规格入手。

01

过滤要求

明确所需等级、测试标准、现有过滤配置及进气条件。

02

安装匹配与风量

检查实际宽、高、深、密封、运行风量及设备压力限值。

03

维护

核对拆卸间隙、过滤器状态及压降趋势,遵循设备及过滤器更换说明。

更换与维护

准备过滤器询价信息。

发送现有过滤器标签、照片及测量尺寸,同时提供设备要求。

请包括规定框架材料、密封垫或液槽接口,以及设备专用材料要求。

  • 设备型号及现有过滤器型号
  • 实际宽 × 高 × 深及密封细节
  • 所需等级、测试标准及运行风量
  • 温度、潮湿条件及允许压降
  • 所需数量及交货地点
常见问题

选择替换产品前。

选定过滤等级就能确定洁净室等级吗?

不能。过滤等级描述过滤器性能,房间等级取决于设施整体设计、安装及运行。

这一系列供应完整 FFU 吗?

本系列提供适配兼容 FFU 的过滤器元件,不包含风机、控制器或完整机组。

这些过滤器应多久更换一次?

依据设备说明、过滤器状态及可用压降读数判断。更换周期随运行时长及颗粒物负荷变化。

可以评估非标尺寸吗?

请发送所需尺寸、结构及设备信息,以便确认可用配置及供货要求。

一起核对您的需求。

提供现有过滤器资料及所需数量,沟通适当配置。

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CINRIWA · 产品支持

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